感測技術聯合國家重點實驗室

依託單位：中國科學院上海微系統與信息技術研究所、中國科學院電子學研究所。

1989年，通過驗收后正式對外開放，於1993年、1997年和2002年三次通過國家評估。

實驗室由南北兩個基地及四個專業點組成，南方依託單位為中科院上海微系統與信息技術研究所，兩個專業點分別在上海技術物理研究所、合肥智能機械研究所，北方依託單位為電子學研究所，兩個專業點分別在半導體研究所和微生物研究所。

現任實驗室主任為楊根慶研究員；學術委員會主任為朱敏慧研究員。

實驗室性質屬應用基礎研究，南方各單位主要側重物理量器件及其相關技術研究，北方各單位主要側重化學量器件及其相關技術研究。

實驗室主要學術方向是以微電子技術和微機械加工技術為基礎的微感測器及微系統研究，其主要研究內容為：

（1）基礎研究：為微米尺度力學、光學、熱學與材料特性以及真空微電子學研究；

（2）製備技術研究：MEMS加工技術研究；

（3）新型器件研究：新型感測器原理及器件研究；

（4）系統技術研究：集成化微系統設計、微型化技術及系統集成、封裝和系統測試等研究。

實驗室建設至今15年來，先後主持國家攀登B計劃項目及“973”計劃，以及“七五”至“十五”國家攻關項目，開展了微電子機械系統（MEMS）加工技術及器件研究，如在國內首次研製成功微型靜電晃動馬達、微型諧振子、壓阻型微陀螺，高衝擊加速度感測器，高精度諧振壓力感測器，真空微電子壓力感測器以及微機械紅外熱堆陣列等器件，近幾年在微米尺度光學器件、微米尺度動力學、微摩擦機理、微米尺度的材料特性等方面做出了創新性的工作。

特別是為國家的氣象衛星系列、海洋衛星、神州飛船有效載荷提供了全部碲鎘汞紅外感測器或焦平面組件，圖象質量已達到國際先進水平。

實驗室歷年來研製的鉑薄膜電阻溫度感測器、厚膜壓力感測器、離子敏場效應管生物感測器、表面等離子體諧振測試儀、高溫壓力感測器等系統均已產品化或已技術轉讓。實驗室還在航天器微型化技術等方面為國家重大戰略工程提供技術論證報告，開展相關研究。

為了與世界感測技術發展同步，根據現有基礎，實驗室下一步要針對國家需求和學科前沿，以微科學和微技術為基礎，開展微感測器、微執行器及微系統創新性研究；在隊伍建設上要引進和培養優秀人才，更多地加強與國內外單位的合作研究；在研究上要集中力量予以突破，取得重大成果；對已在推廣應用的項目及課題，要加大投入，取得更大效益。

近年來實驗室共獲國家科技進步一等獎等國家級和省部級獎項10多項，在國際和國內核心刊物上發表學術論文300多篇，授權發明專利7項，並多次在國際會議上作特邀報告。

實驗室現有固定人員40人，其中有方家熊院士，王躍林博士、夏善紅博士等博士生導師15名，研究員26名。

有博士后6人，在讀博士生18人，碩士生35人。