光電子能譜儀（photoelectron spectrograph）是利用光電效應測出光電子的動能及其數量的關係，由此來判斷樣品表面各種元素含量的儀器。可分析固、液、氣樣品中除氫以外的一切元素。
光電子能譜儀
簡單介紹 主要用途： 1.XPS測定 2.XPS成象 3.深度剖析 4.微區分析 5.角分辨XPS 可應用於各種固體材料表面（界面）的元素及化學態的定性、半定量、結構分析及
化學鍵研究。
儀器類別： 03030707 /
儀器儀錶 /成份分析儀器
指標信息：空間分辨（μ）能量分辨（eV) 靈敏度(CPS) 大面積 1.0 4×106 大面積 0.5 4×105 30 1.0 8×103 30 0.5 2×103 20 1.4 2.2×103
附件信息： 1.X-射線單色器 2.氬離刻蝕槍 3.電子中和槍 4.樣品加熱裝置（1000k) 5.五軸向樣品旋轉裝置, 中國科學研究院化學研究所電子能譜實驗室已從事該領域工作二十多年，積累了相當豐富的經驗，完成
中國科學院科研課題、國家重大科研課題及國家自然科學基金等項目多項，並為所內外提供
XPS分析測試服務，年均實驗機時大於1200小時。
