APCVD

除了常壓化學氣相澱積（APCVD）之外，還有低壓化學氣相澱積（LPCVD）,等離子體增強型澱積（PECVD）。目前，在晶元製造過程中，大部分所需的薄膜材料，不論是導體、半導體，或是介電材料，都可以用化學氣相澱積來製備。