微感測器
微感測器
微感測器是一種基於半導體工藝技術的新一代感測器器件，它應用新的工作機制和物化效應，採用與標準半導體工藝兼容的材料，用微細加工技術製備的。微感測器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特點而越來越受到青睞。
目錄
分類
微感測器的分類：
• 根據是否有能源供應，可以分為有源微感測器（例如：壓電）和無源微感測器（例如：熒光）
• 根據微感測器所能測量的對象不同，還可以分為如下九類：
• 機械微感測器：用於力、形變、位移和速度等測量的微感測器。
• 磁學微感測器：用於磁場大小、磁場極性、磁通和磁導率等測量的微感測器。
• 熱學微感測器：用於溫度、比熱容、熱導率和熱容量等測量的微感測器。
• 聲學微感測器：用于波幅、相位、偏振和聲譜等測量的微感測器。
• 光學微感測器：用於光譜、波速、波幅和相位等測量的微感測器。
• 輻射微感測器：用於X射線、紫外線、微波和無線電波等測量的微感測器。
• 化學微感測器：用於成分、濃度、濕度和PH值等測量的微感測器。
• 生物微感測器：用於荷爾蒙、抗原、醣和生物量等測量的微感測器。