硅微機械加工技術

英國劍橋大學出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本關於微系統加工工藝方面的專著，作者M.Elwenspoek和H.Jansen等人從事過多年微系統加工工藝方面的研究工作，具有非常豐富的研究經驗。本書的主要內容包括：（1）硅的濕法腐蝕工藝及其物理機制的描述；（2）硅的表面微機械加工技術；（3）LIGA工藝；（4）硅——硅直接鍵合工藝；（5）硅的干法腐蝕工藝及物理機制等，涵蓋了微機械系統加工工藝中的主要內容，而且其內容經過多次修訂，並在法國和英國等大學試用。本書基本概念清楚，具有一定參考價值，適合MEMS領域工程技術人員、研究生和高年級本科生閱讀和使用。

1　簡介

2　各向異性濕去腐蝕

3　濕法化學腐蝕的化學物理機制

4　矽片鍵合

5　實例和應用

6　表面微機械加工

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