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TCS
三氯氫硅
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正文
正文
TCS 是
SiH
Cl3 (三氯氫硅)的縮寫。
三氯氫硅
是光伏產業鏈前段的一種關鍵化學原料,使用化學沉積方法製備高純的
多晶硅
材料,得到晶體面無序排列的多晶硅。
基本信息
中文名
三氯氫硅TCS
熔點
-126.5℃
分子式
Cl3HSi
CAS登錄號
10025-78-2
EINECS登錄號
233-042-5
沸點
31.8 ℃
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