TCS

三氯氫硅

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TCS 是 SiHCl3 (三氯氫硅)的縮寫。三氯氫硅是光伏產業鏈前段的一種關鍵化學原料,使用化學沉積方法製備高純的多晶硅材料,得到晶體面無序排列的多晶硅。