熱處理裝置

(1)包括具有用於向基板處理部(5)供給熱風的熱風供給部件(14)的空氣調整部(11)、以及用於對基板進行熱處理的熱處理室(12)。熱處理裝置(1)配置有催化壁(40)，載持有促進在熱處理室(12)的最下游一側、當處理基板時所產生的生成氣體的氧化分解的催化劑。因此，熱處理裝置(1)因冷卻生成氣體而產生的所謂的升華物的產生量極低。此外，由於在生成氣體氧化分解時會產生反應熱，所以熱處理裝置(1)在熱處理時加熱混合氣體只需很少的耗電量。