代位原子，是指晶體中的點缺陷包括分佈在晶體中的填隙原子、代位原子、空位以及由它們組合而成的點缺陷組。
晶體中的點缺陷包括分佈在晶體中的填隙原子、代位原子、空位以及由它們組合而成的點缺陷組。
代位擴散基本現象
這種擴散與間隙擴散不相同的是，一方面一種
原子進入另一種原子的
晶格要另一種原子擴散運動離開才能達到節點位置;
另一方面，在晶體中兩種原子的大小，性質不相同，擴散遷移的速度也不一樣，一種原子離開的個數與另一種原子進入的個數不相等時就會形成新的晶格(或部分晶格消失),因此代位擴散過程中會引起某種材料晶格數量的變化.