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張霞

上海工程技術大學講師

張霞，講師，材料工程系，上海市松江工程師協會會員。研究方向 ⑴ 半導體薄膜 ⑵ 新型光電器件及封裝

1人物生平 2中國地質大學 3科研項目

4代表性論文專著 5教學工作 6榮譽獎勵

人物生平

2002/09–2007/07，中國科學院上海硅酸鹽研究所，材料物理與化學專業，碩博連讀，博士

1998/09–2002/06，

中國地質大學

（武漢），材料科學與工程學院，學士

2008/10– 至今，上海工程技術大學，材料工程學院，講師

2007/07–2008/03，上海貝嶺股份有限公司，研發部，工藝研發工程師

科研項目

作為第一負責人已完成“有序納米硅薄膜的科學生長及其在太陽能電池上的應用”（編號：gjd09010）。來源於上海市教委選拔培養優秀青年教師基金，起止年月2010年01月至2011年12月。

作為第一負責人完成上海某電器有限公司的橫向項目“AgNi合金觸頭的表面變色層分析”。

作為第三負責人正參加“脈衝電子束作用於非均勻金屬材料的多尺度耦合現象及其機制研究”（項目批准號：51101096）。來源於國家自然科學基金青年科學基金項目，起止年月2012年01月至2014年12月。

代表性論文專著

1. Xia Zhang*, Hong Chen, Zhi Yan, Xiying Zhou, Wensong Lin and Xiaomin Li. Layer-by-layer growth of high-optical-quality ZnO epitaxy film on Si(111) substrate using a MgO/TiN buffer layer by pulsed-laser deposition, Surf. Interface Anal. 46: 243–247, 2014.（影響因子：1.22，SCI收錄、EI收錄）關鍵詞：ZnO薄膜；Si襯底；緩衝層；外延生長

2. Xia Zhang*, Zhi Yan, Qi Zheng, Yanggen Cao, Zhishui Yu, Xiaomin Li. Epitaxial growth and properties of cubic ZnMgO films on TiN-buffered Si(100) substrates by in situ pulsed laser deposition, Vacuum 86:1871-1874, 2012.（影響因子：1.05，SCI收錄、EI文章收錄）關鍵詞：ZnMgO薄膜；脈衝激光沉積；結構特性；透過光譜；介電性能

3.張霞*，言智，鄭祺，徐士美，童慶強. DOE技術在低電壓CMOS晶體管中的質量控制，電子器件，排版中, 2014.（中文核心）關鍵詞：DOE；注入劑量；CMOS；閾值電壓

4.張霞，於治水，姚寶殿，言智，鄭祺，廖秋慧。電子封裝技術專業的核心課程體系與課外創新實踐，產業與科技論壇，排版中, 2014.（教改論文）

5. X. Zhang, X. M. Li, T. L. Chen, C. Y. Zhang, and W. D. Yu. p-type conduction in wide-gap ZnMgO films grown by ultrasonic spray pyrolysis Applied Physics Letters, 2005, 87(9): 092101-1-3.

6. Xia Zhang, Xiao Min Li, Tong Lai Chen, Ji Ming Bian, Can Yun Zhang. Structural and optical properties of ZnMgO thin films deposited by ultrasonic spray pyrolysis. Thin Solid Films, 2005, 492: 248-252.

7. Xia Zhang, Xiao Min Li, Tong Lai Chen, Li Dong Chen. Thermoelectric and transport properties of LaSrCoO. Journal ofCrystalGrowth, 2006, 286: 1-5.

8.張霞，陳同來，李效民.“Si（100）襯底上PLD法製備高取向度AlN薄膜”無機材料學報, 2005, 20(2): 419-424.

9.張霞，李效民，陳同來，於偉東，高相東，張燦雲，趙俊亮.“ZnMgO薄膜p型導電和光學性能研究”發光學報, 2006,27(4): 503-507.

教學工作

負責主講《微電子器件可靠性》、《封裝測試工藝與設備》等本科課程，

負責《微電子封裝綜合實驗》、《微電子封裝專業實習》等本科實踐教學，

參與主講《材料物理與化學前沿》研究生課程。

榮譽獎勵

2012.12材料工程學院“就業工作先進個人”

2011.12材料工程學院“就業工作先進個人”

2012.10上海市《集成電路版圖layout設計工藝員》職業技能競賽優秀獎指導教師

2011.10上海市《集成電路製造高級工藝員》（三級）職業技能競賽優秀獎指導教師

張霞