SPC

SPC(Solid Phase Crystallization)為固相結晶化的英文首字母縮寫。

固相結晶化是指在LTPS TFT-LCD製作過程中，採用熱處理工藝將非晶硅( a-Si)層轉變為多晶硅(p-Si)層。目前，實用上的熱處理基本上是激光熱處理。