納米金屬粉

納米材料研究始於60年代，日本Kimoto、Wad等人在低壓惰性氣體的氣氛中，製備了幾乎所有常用金屬的超細微晶。

80年代中期，已有研究人員將超細微粉的製備及成型結合起來，在不受污染的情況下，將超細粉體原位壓製成固體材料，開展了對超細材料的微觀結構、性能的研究，使納米材料越來越受到人們的重視，從而逐漸發展成為目前材料科學與工程研究的熱點。納米材料具有量子尺寸效應、表面效應、宏觀量子隧道效應，庫侖阻塞效應，介電限域效應等物理效應。

自1963年日本上田良二教授首創氣體冷凝法製備超微金屬納米粒子以來，世界上對金屬納米粉體的研究蓬勃開展，並取得了很大的進展，例如用於電子器件中導電塗層的銀納米粒子在100℃下即可燒結，使電路基板的材料從陶瓷轉變為樹脂、塑料等。再如用銀納米粒子製作的超低溫稀釋致冷機的熱交換壁、Fe-Ni納米粒子製作的高密度金屬磁帶，目前都已進入實用階段，它們的年需量可達噸級以上。金屬納米粒子及其複合材料已在冶金、機械、化工、電子、國防、核技術、航空航天等研究領域呈現出極其重要的應用價值。目前，中國已在金屬納米粉體材料產業化方面具備一定的技術基礎，產品質量幾乎都達到國際水平。

本發明提供一種納米金屬粉體的製造方法，其利用微影製程技術，形成納米圖案光罩，並蝕刻金屬薄膜，以形成與該光罩納米圖案對應的納米圖案，從而獲得納米金屬粉體。本發明所提供的納米金屬粉體的製造方法利用可形成納米圖案的微影製程技術，因而能獲得尺寸均一可控且分散性好的納米金屬粉體，適合於製造銅、鋁、鎳等金屬粉體。