陳迪

所在院系 微納科學技術研究院

所屬學科 電子科學與技術

陳迪，男，1961年出生，1978年考入中國科技大學，於1980年國家公派赴德國留學，1986年和1990年分別獲德國漢堡大學化學系碩士和博士學位，1990－1992年在德國MicroParts公司從事MEMS微加工技術的博士后研究工作，自1993年起在上海交通大學先後任副教授、教授和博士生導師，目前任上海交通大學微納科學技術研究院副院長。先後主持和承擔了國防科工委、國家自然科學基金委、國家科技部、教育部、上海市科委、教委、德國西門子公司和美國3M公司的四十餘項科研項目。開發出了新型X光掩模板製備工藝和新的非硅三維微加工技術－DEM技術，用微電子機械系統（MEMS）技術開發出各種微流控晶元、植入式生物微電極陣列、MEMS集成探卡、微波定向天線和MEMS慣性開關等，應用於生物醫學、信息產業和國防等領域。發表論文一百二十餘篇，其中被SCI、EI收入論文七十餘篇，論文被引用270餘次，申請發明專利29項，其中授權16項，參與撰寫專著4本，主持出版《微加工導論》譯著1本。“非硅MEMS技術及其應用”獲2007年上海市技術發明一等獎，2008年度國家技術發明二等獎；“微流控生化晶元的結構、製造、改性及其應用”獲2008年度高等學校科學研究自然科學二等獎。目前其研究領域為非硅MEMS微加工技術、植入式生物微系統、微流控晶元和RF-MEMS等。陳迪教授是中國儀器儀錶學會微納器件與系統技術分會常務理事，全國微機電技術標準化技術委員會委員，《微納電子技術》、《納米技術與精密工程》、《微細加工技術》《功能材料與器件學報》編輯委員會委員。