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美軍特種作戰部隊名稱
瑞典特戰任務組
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旋轉塗布玻璃
硅-玻璃鍵合結構材料
SOG
旋轉塗布玻璃
徠SOG(spin on glass coating)旋轉塗布玻璃,為半導體製程上主要的局部性平坦化技術。
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正文
正文
SOG徠是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗布(spin Coating)方式,均勻地塗布在晶圓表面,以填補沉積介電層凹陷的孔洞。之後,再經過熱處理,可去除溶劑,在晶圓表片上留下固化(Curing)后近似二氧化硅(SiO2)的介電材料。
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