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SOG

旋轉塗布玻璃

徠SOG(spin on glass coating)旋轉塗布玻璃，為半導體製程上主要的局部性平坦化技術。

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正文

SOG徠是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗布(spin Coating)方式，均勻地塗布在晶圓表面，以填補沉積介電層凹陷的孔洞。之後，再經過熱處理，可去除溶劑，在晶圓表片上留下固化(Curing)后近似二氧化硅(SiO2)的介電材料。

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