二次電子

真空中的自由電子

二次電子:在入射電子束作用下被轟擊出來並離開樣品表面的樣品原子的核外電子叫做二次電子。二次電子一般都是在表層5~10nm深度範圍內發射出來的,它對樣品的表面形貌十分敏感,因此,能非常有效的顯示樣品的表面形貌。二次電子的能量較低,一般不超過50eV。大多數二次電子只帶有幾個電子伏的能量。

產生


這是一種真空中的自由電子。由於原子核和外層價電子的結合力能很小,因此外層的電子比較容易和原子脫離,使原子電離。一個能量很高的入射電子射入樣品時,可以產生許多的自由電子,這些自由電子中90%是來自樣品原子外層的價電子。

能量


二次電子的能量較低,一般不超過50eV。大多數二次電子只帶有幾個電子伏的能量。

應用


二次電子一般都是在表層5~10nm深度範圍內發射出來的,它對樣品的表面形貌十分敏感,因此,能非常有效的顯示樣品的表面形貌。
但二次電子的產額和原子序數之間沒有明顯的依賴關係,所以不能用它來進行成分分析