廈門大學薩本棟微納米技術研究中心

經過兩年時間的籌建，大樓於2002年2月建成，中心正式於2002年9月開始運行，2003年經驗收成為廈門市（福建省）MEMS工業工程中心，2006年獲批為福建省高校重點實驗室。2010年中心引進國內感測領域知名團隊，致力於打造國內一流、國際領先的感測器的製造和應用研究基地。

中心的目標是建設世界一流的微納米研究中心，使中心成為一個多學科交叉的開放性的公共研究平台，微納米器件與系統創新科技人才的培養平台，以及科研成果轉化和產業化的基地。

中心的研究方向，主要從事微納米加工技術、微納米材料以及微納米器件與系統的研究與應用，並為國內外產業及研究機構服務。

經過前期的建設，中心3800平方米的中心大樓“亦玄館”內擁有100級、1000級、10000級共計660平方米的工藝潔凈室、各種高純氣體供氣系統、18MΩ純水系統、三廢處理系統、防震工作台等。中心現有80多台各種微機電工藝設備，如AMS 200深硅等離子體刻蝕系統、ICP-2B刻蝕機、AWB04鍵合機、MA6/BA6 Karlsuss雙面光刻機和鍵合機、POLI-400化學機械拋光機、WL2040鋁絲壓焊機、OPTI CAOT 22i噴塗膠機系統、ZSH406全自動划片機、DQ-500等離子去膠機、全自動清洗甩干機、AXTRON MOCVD金屬有機物化學氣相沉積系統、4470微控四管擴散爐、4371LPCVD低壓化學沉積系統、OMICRON分子束外延系統、JS-3X100B磁控濺射台、PECVD-2E等離子澱積台、ZZSX500C電子束蒸發台、JC500-3/D磁控濺射鍍膜機、石英管清洗機，以及多種常用測試儀器, 如OLS1100激光共聚焦顯微鏡、DEKTAK-III台階測量儀、D41-11A/ZN四探針電阻測試儀、Nikon L150金相顯微鏡等。

中心成立以來已經承擔多項國家級、省部級科研課題以及企業合作重大課題。目前正在進行與生物醫學工程、航空航天、通訊工程、汽車工業、新能源等行業相關的微納米器件及系統的研究和開發，並不斷拓展合作研究與開發的新領域。