微腔激光器是諧振腔尺度在光波波長量級的激光器。它具有低閡值、高轉化效率、高速調製等特點。
諧振腔尺度在光波波長量級的激光器。它具有低閡值、高轉化效率、高速調製等特點。目前,其主要結構、形式有
垂直腔面發射激光器和微盤激光器。垂直腔面發射激光器一般是以高
反射率的多層介質膜作為平面腔鏡,激光垂直於腔鏡表面出射;微盤激光器則是利用彎曲介面的全反射形成腔限制,以迴音壁模式作為主要
諧振模式。
1988年,日本東京工業大學的伊賀(Iga)等人成功地研製出垂直腔面發射激光器;1992年美國
AT&T的麥考(McCall)等人研製成功
液氮溫度光泵浦In
GaAs/InGaAsP微盤激光器。微腔激光器由於其尺寸小,對腔內發光物質產生量子限制,從而出現一系列腔量子電動力學(大量
QED)效應。為腔量子電動力學理論研究提供了展示舞台。這種激光器比傳統的
半導體激光器有明顯的優越性,在光集成、光互連、光神經網路以及光通訊等方面有著廣泛的應用前景。