nra

NRA-Nuclear Reaction Analysis，核反應分析用於測定薄膜中的低－Z元素（如碳、氮、氧和硼）。用NRA, 一次轟擊粒子引發薄膜中和低－Z核的核反應，及噴射出帶有動力學特徵的特定核反應的顆粒。

NRA信號可以用於定量測量薄膜上每平方厘米面積上的B,C,N,O原子總數。使用NRA測定這些元素可以在比使用RBS較低的濃度內測量。聯合使用NRA與RBS ，您可以定量測量薄膜上輕元素的污染物水平。