閉路循環

closed system, closed loop 利用有效處理方法，使廢水達到循環利用的要求。

閉路循環是指在生產中採取一些特殊的處理工藝，將產生的廢棄物回收利用，對外無排放，無污染，實現循環利用的過程，從而降低能耗，節約成本，並且有利環境。如多晶硅生產均採用閉路循環工藝流程，使副產物（如四氯化硅等）得以合理、充分的利用。