aes

原子在被X射線或電子束激發時，其內層電子被擊出，產生一個空位，此時原子處於激發態，這種不穩定狀態的原子在恢復其基態穩定狀態時，可由兩種互相競爭的過程實現：一種是由較高能級的一個電子落入空位填充，多餘的能量以特徵X射線輻射出；另一種是內層空位被較高能級電子填入，多餘能量又使同一層或更高層的另一電子激發為自由電子，該自由電子便是俄歇電子。俄歇電子的能量只與原子所處的能級，及原子結構有關，而與入射激發源無關，它是表徵物質原子特性的一個特徵量。周期表中各元素的各類俄歇電子的能量都有確定的值，因此只要能測出樣品中俄歇電子的能量，再與已知元素俄歇電子能量對照，便可確定樣品表面的元素成分，這種分析方法便是俄歇電子能譜分析。