比長儀,是以不接觸光學定位方法瞄準被測長度,主要用於測量線紋距離的精密長度測量工具。
以不接觸光學定位方法瞄準被測長度,主要用於測量線紋距離的精密長度測量工具。
比長儀一般採用測量顯微鏡或光電顯微鏡作為瞄準定位部件,並以精密線紋尺的刻度或光波波長作為已知長度,與被測長度比較而確定量值。比長儀主要用於檢定線紋尺,測量分划板上的線距和物理、天文類照相底片上的光波譜線距離,也可用於測量孔徑。
比長儀
比長儀按結構布局分為縱向的和橫向的兩類。縱向比長儀採用線紋尺作為已知長度,且結構設計符合阿貝原則(見長度測量工具),稱為阿貝比長儀(見圖)。測量時,先用測量顯微鏡瞄準被測線條,從
讀數顯微鏡讀得一數值。然後移動工作台,再用測量顯微鏡瞄準另一被測線條,從讀數顯微鏡讀得另一數值。這兩個數值之差即是被測兩線條間距離。橫向比長儀的被測長度和已知長度是並列布置的,這種布局可以縮短導軌長度,但要求導軌精度高。採用愛賓斯坦光學系統,可以補償結構不符合阿貝原則而產生的測量誤差。以光電顯微鏡代替上述兩種顯微鏡者,稱為光電比長儀;採用激光或其他單色光波長作為已知長度者,分別稱為激光比長儀和光電光波比長儀。阿貝比長儀的測量精確度為±1~±1.5微米/200毫米,光電比長儀可達到±0.5微米/1000毫米,而光電光波比長儀和激光比長儀則可達到±0.2微米/1000毫米。