於廣輝

1993和1996年在吉林大學電子工程系獲學士和碩士學位，

1999年7月中科院長春物理所獲博士學位，

1999年9月-2002年3月日本千葉大學博士后，

20徠02年4月開始為中國科學院上海微系統所副研究員、研究員（2008.1起）、第二研究室副主任（2007.4月起）。

上海市第十五屆人民代表大會代表。

2019年3月，任上海市十五屆人大華僑民族宗教事務委員會、外事委員會委員。

2019年3月28日，上海市十五屆人大常委會第十一次會議任命於廣輝為上海市十五屆人大華僑民族宗教事務委員會、外事委員會委員。

在博士后工作期間，對氮化物半導體物理、材料MOCVD和MBE生長和LED器件的製備等各個方面都進行了廣泛的研究，並於2001年獲得了日本千葉大學的“Nanohana competition”獎。從2002年至今作為課題組長承擔國家863課題、973課題、國家自然科學基金、上海市國際合作課題、上海市自然科學基金課題、上海市白玉蘭人才基金、中科院課題等多項。目前主要研究領域集中在氫化物汽相外延（HVPE）厚膜GaN襯底材料、低維GaN材料與器件以及用於GaN材料製備的HVPE設備研製。