頸縮

拆分規則會對版圖上的多邊形尺寸、間距提出要求，如圖 1所示，包括最小允許周期(minPitch)、最小允許線間距(minSpace)、最小允許拐角至拐角距離(min corner-to-corner， minC2C)等。

圖1 圖形拆分規則的一些例子

實際上，結構複雜的版圖，多邊形相鄰約束要求較多，必須對多邊形引入切割才能完成拆分規則要求。當相鄰多邊形違背拆分規則的間距(衝突)形成奇數周期時，就必須引入切割才能解決衝突，如圖 2所示。將原本連續的多邊形分成兩部分，分割處稱為縫合點(stitch)。在多邊形切割處，對切割后形成的位於兩張掩模上的線端都需要進行線端縮進補償。切割處對套刻誤差以及工藝窗口變數格外敏感，並且還會由於線端縮進補償過量導致新的違規衝突出現，因此需要嚴格選擇切割位置以及控制切割補償量，圖2中的深色即為線端補償。如果線端補償過少則會導致線條頸縮缺陷(pinching)，如圖3所示。

圖2 對圖形做切割以消除奇數周期

圖3 線端補償不夠導致頸縮(pitching)