微型機械

微型機械泛指尺寸範圍為毫米、微米或納米級，集微機構、微感測器、微驅動器、微執行器和微控制器為一體的的微型機電系統(MEMS)。中國在近十年期間，通過微齒輪、微泵、微電機、微馬達、微型飛機和微型陀螺等研究，在MEMS領域取得了突出進展。提出和發展了由於尺度效應而產生的微機械學。

MEMS技術已開始在我國的社會生產中發揮作用，如微操作機器人已開始用於生物工程中的細胞分裂、顯微手術和生物晶元的製造工藝；微感測器已民開始用於飛行器的加速度、壓力等參數的實時測量；納米薄膜潤滑技術已應用於火箭和計算機硬碟的製造工藝。