低能電子衍射儀

低能電子衍射儀是電子能量小於500eV電子束是單色的、近似平行的，直徑為10-3～10-2m，通常垂直入射，利用集電極或半球形熒光屏來探測被彈性反向散射的電子形成的衍射圖的電子衍射儀。