滑閥真空泵

滑閥泵由於其結構特點，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa（均關氣鎮），雙級泵的極限壓力≤0.06Pa（關氣鎮）。目前雙極2H滑閥真空泵最大抽速為300L/S。

由徠於滑閥泵的旋轉質量有較大的偏心，如果滑閥沒有很好的質量平衡，在運轉時會產生較大的振動。但泵旋轉質心的運動軌跡是形狀複雜的封閉曲線，因此小廠很難實現對滑閥泵慣性力的完全平衡。可以通過動平衡測試和雙缸或三缸結構做好滑閥的質量平衡。

羅茨滑閥真空機組是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級泵串聯組成的真空機組。通過真空繼電器或電接點壓力表，來實現羅茨泵滑閥泵的自動啟閉，自動過載保護。整套機組安裝在一個機架上，配以管道、閥門、電器操作控制箱、冷卻水管系統。機組結構緊湊，使用方便。

根據被抽真空系統的大小及極限壓力的不同，真空機組各泵之間的名義抽速之比一般在4：至10：1之間，前者較後者適用於較大真空系統及長時間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。本系列機組為了防止滑閥泵停機時返油，在前級進口管道上裝有電磁充氣閥，其動作與前級泵電動機實現聯動，當滑閥泵停泵前，向泵口充氣，確保滑閥泵內的真空油返回到油箱內，同時防止真空系統受到真空油污染。

羅茨滑閥真空機組具有顯著的節能效果，真空度高，高真空區間抽氣量大，可廣泛應用於電力工業的變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬、真空乾燥工藝中。是真空鍍膜、真空冶鍊、真空熱處理、真空濾油、冷凍乾燥；航空模擬試驗較理想的真空設備。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉塵的氣體，應加裝過濾裝置。