超高真空

超高真空

所屬類別

科技 >> 機械 >> 機械綜合

作者：崔遂先、王榮宗 編著

叢書名：真空科學技術叢書

出版日期：2013年11月 書號：978-7-122-17646-2

開本：16K　787×1092　1/16 裝幀：平 版次：1版1次 頁數：236頁

本書共分6章。比較全面系統地闡述了超高真空技術涉及的氣體分子運動的經典理論、主要常用公式，各類超高真空擴散泵、渦輪分子泵、濺射離子泵、低溫泵，超高真空閥門、擋板等元部件，超高真空測量，超高真空系統設計及維護運轉。

本書可供從事超高真空技術工作的專業技術人員、操作人員使用，亦可作為大專院校師生的參考書。

第1章超高真空技術概述

11氣體分子熱運動速度

12氣體分子的平均自由程λ

13氣體分子碰撞次數

131氣體分子之間(或電子與氣體分子間)的碰撞次數

132分子與器壁碰撞數（碰撞頻度）

14氣體壓力

15表面形成單分子層的時間

16氣體分子在材料表面的吸附

161物理吸附速率方程

162化學吸附速率方程

17脫附速率

171一級脫附速率

172二級脫附速率

18吸附等溫線（平衡狀態下吸附量）

第2章超高真空泵

21超高真空油擴散泵

211超高真空油擴散泵的極限壓力

212泵的返油率

213擋油帽

214擋板

215冷阱

216氣體的反擴散

217擴散泵油

218擴散泵油分餾裝置

219擴散泵的抽氣速率

2110擴散泵臨界前級壓力

2111擴散泵的加熱功率

2112擴散泵的不穩定性

22渦輪分子泵

221渦輪分子泵的結構、抽氣原理

222分子泵的抽速和壓縮比

223渦輪分子泵極限壓力

224渦輪分子泵軸承及動平衡

225渦輪分子泵操作與運轉

226國產立式渦輪分子泵

23濺射離子泵

231濺射離子泵抽氣原理

232二極濺射離子泵的抽速

233二極濺射離子泵的極限壓力

234二極濺射離子泵的不穩定性

235二極濺射離子泵的改進

236濺射離子泵的磁場與漏磁

237濺射離子泵的啟動特性

238濺射離子泵的預抽

239濺射離子泵的使用壽命

2310濺射離子泵性能參數

24低溫泵

241概述

242低溫泵的分類

243低溫泵的極限壓力

244低溫泵的抽速

245低溫泵的熱負荷

246低溫泵的製冷時間

247低溫泵工作壽命

248低溫泵的啟動壓力（轉換壓力）

249貯槽式低溫泵

2410氦流程低溫泵

2411小型製冷機低溫泵

第3章超高真空用法蘭、閥門、冷阱

31金屬超高真空法蘭

311Batzer密封法蘭

312角形密封法蘭

313Wheeler法蘭

314ConFlat法蘭

315階梯密封法蘭

316金屬密封法蘭標準

32氟橡膠密封超高真空法蘭

33真空管路及真空規管接頭

331超高真空管路接頭型式

332真空計規管接頭

333柔性管路

34真空傳動部件

341膜片、波紋管傳動

342磁力傳動

343磁流體傳動密封

344液態金屬密封

35電極引入部件、觀察窗

351電極引入部件

352觀察窗

36真空閥門

361真空閥門的分類

362真空閥門基本型號

363超高真空閥門

364擋板和阱

第4章超高真空測量

41概述

42全壓力測量

421超高真空全壓力測量的要求

422BA型熱陰極超高真空電離計

423其他超高真空熱陰極電離計

424冷陰極超高真空電離計

425超高真空校準

426測量方法及影響測量因素

43分壓力測量及氣體成分分析

431超高真空氣體成分分析及分壓力測量對真空質譜計的要求

432常用術語及真空質譜計主要技術指標

433超高真空用的質譜計

434超高真空系統殘餘氣體成分分析

435真空系統氣體組分的分壓力測量

436超高真空分壓力測量常用數據表

第5章超高真空系統

51概述

52玻璃超高真空系統

521超高真空常用玻璃

522玻璃的封接

523玻璃的放氣與除氣

524玻璃的滲氦

5徠25玻璃真空系統製作

53金屬超高真空系統

531金屬超高真空系統設計

532超高真空抽氣機組

第6章超高真空系統檢漏、運轉與維護

61超高真空系統的安裝

62超高真空系統的檢漏

621真空系統（容器、部件）漏氣的判斷

622真空系統允許的最大漏率

623系統漏率的測量

624檢漏儀、檢漏方法和示漏物質的選擇

625真空設備檢漏須知

63超高真空系統的運轉

631超高真空系統的預抽（粗抽）

632超高真空系統烘烤除氣

633超高真空泵操作注意事項

634超高真空系統的維護

參考文獻