電容式差壓感測器

電容式差壓感測器

電容式差壓感測器是一種用來測量兩個壓力之間差值的感測器,通常用於測量某一設備或部件前後兩端的壓差。

產品簡介


電容式差壓感測器結構圖
電容式差壓感測器結構圖
電容式差壓感測器的結構如圖所示。將左右對稱的不鏽鋼基座2、3的外側加工成環狀波紋溝槽,餅焊上波紋隔離膜片1、4。基座內側有玻璃層5,基座和玻璃層中央都有孔。玻璃層內表面磨成凹球面,球面邊緣鍍以金屬膜6,此金屬膜層有導線通向外部,為電容的左右定極板。左右對稱的上述結構中央夾入並焊接彈性平膜片,即測量膜片7,為電容的中央動極板。測量膜片左右空間被分割成兩個室,固有糧食結構之稱。
在測量膜片的左右兩室中充滿硅油,當左右隔離膜片分別承受高壓pH和低壓pL時,硅油的不可壓縮性和流動性便能將差壓Δp=pH-pL傳遞到測量膜片的左右面上。因為測量膜片在焊接前加有預張力,所以當差壓Δp=0時十分平整,使得定極板左右兩電容的容量完全相等,即CH=CL,電容量的差值為零。在有差壓作用時,測量膜片發生變形,也就是動極板向低壓極板靠近,同時遠離高壓測定極板,使得電容CH=CL。