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李同

中國科學院蘇州納米所研究員

李同,1983年畢業於上海機械學院精密儀器工程系,獲工學學士學位;1993年畢業於美國威恩大學(Wayne State University)電子與計算機工程系,獲電子工程學碩士學位(專業方向為光學計算機技術);1999年畢業於美國密西根大學(The University of Michigan, Ann Arbor)電子工程與計算機科學系,獲電子工程學博士學位(研究方向為應用於液晶顯示器的薄膜晶體管(TFT)的先進位造技術)。1983年月至1990年8月供職於陝西省計量測試研究所任助理工程師、工程師;1999年6月至2000年9月供職於美國球面半導體公司(Ball Semiconductor Inc.)任高級器件工程師及研發項目經理;2000年10月至2003年10月供職於美國Chorum技術公司任高級工藝工程師;2004年4月創辦寧波思達利光電科技有限公司,任董事長、首席執行官。

科學貢獻


1.發展出一套獨特的薄膜微結構精確測量技術,使半導體領域中對薄膜結構分析的精度得到極大地提高;
2.發現了氫化無定形氮化硅(a-SiNx:H)薄膜中偏振相關縱向振動模(longitudinal vibration mode)結構;
3.發展了薄膜晶體管(TFT)製造中的等離子體輔助化學氣相沉積(PECVD)快速成膜技術;
4.總結出氫原子在氫化無定形氮化硅薄膜中的熱穩定性;
5.總結出氫化無定形氮化硅薄膜厚度對Top-Gate結構的TFT器件的電子特性的影響;
6.製做出高能量飽和吸收式鎖模脈衝摻鉺光纖激光器;
7.在直徑1毫米的單晶硅球面設計、製作了全球首個3維CMOS-Inverter;
8.發展了MEMs器件製作工藝中的激光打孔技術、及氣相腐蝕工藝;
9.首創定向固態液晶結構及相關器件;
10.發明了用於TFT-LCD的新型彩色濾光片。

榮譽獎項


曾多次主持、參與包括美國國防部高級研究計劃局(DARPA)、美國空軍科學研究部(AFOSR)、國家科技型中小企業創新基金等等在內的多個科技項目。在國際著名期刊發表論文數十篇;已獲、申請國內外發明專利二十餘項。