氦檢

工件抽空后充入氦氣的檢驗方法

氦檢，主要定義為對被檢工件抽空后充入一定壓強的氦氣，被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱與氦質譜檢漏儀檢漏口相接。

目錄

概括介紹

檢件抽空充壓強氦，檢件具空求空箱，空箱氦質譜檢漏儀檢漏。若檢件漏，則漏空箱氦氦質譜檢漏儀測。檢件連充收裝置，檢漏氦充注收。

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