葉超

中國教授

葉超,男,1965年5月生。1986年畢業於蘇州大學物理系,2006年獲得蘇州大學凝聚態物理博士學位,現為蘇州大學低溫等離子體創新研究團隊核心成員,物理科學與技術學院大學物理教學部、國家物理實驗教學示範中心副主任,“基礎物理(實驗)教學團隊”國家級教學團隊核心成員。

個人簡介


1986年畢業於蘇州大學物理系,2006年獲得蘇州大學凝聚態物理博士學位,現為蘇州大學低溫等離子體創新研究團隊核心成員,物理科學與技術學院大學物理教學部、國家物理實驗教學示範中心副主任,“基礎物理(實驗)教學團隊”國家級教學團隊核心成員。主要從事低溫等離子體物理、技術和凝聚態物理的研究。主持和參加各類科研項目10多項。在Appl Phys Lett、J Electrcohem Soc、《物理》等國內外學術刊物上發表論文80多篇。主編《低氣壓低溫等離子體診斷原理與技術》(科學出版社)。Diamond and related materials、Chin. Phys. Lett.、Plasma Sci. & Technol.審稿人。獲2008年江蘇省科技進步三等獎、2000年蘇州市科技進步二等獎、2009年江蘇省高等教育教學成果二等獎。

研究方向


1、低溫等離子體物理、技術:等離子體源物理與技術、等離子體與材料相互作用、低溫等離子體光譜診斷、低溫等離子體化學
2、凝聚態物理:等離子體誘導的軟物質性能、微納電子薄膜材料(低k材料)、薄膜材料的分形與物性

主要項目


1、納電子器件中的SiCOH超低k材料及相關複雜性研究(國家自然科學基金2006-2008)
2、多頻等離子體與硅基軟物質的作用研究(國家自然科學基金2010-2012)
3、ECR等離子體中多碳氟基團的研究(國家自然科學基金2001-2004)
4、低氣壓多頻等離子體與材料表面相互作用(國家自然科學基金重點項目2007-2010)
5、強磁場螺旋波等離子體物理及超導托卡馬克壁清洗新技術(科技部2010年ITER計劃國內研究項目2010-2013)