膜片閥

membrane valve

其工作原理是由與手輪一起轉動的閥桿將閥頭壓下，使閥關閉。靠彈簧和氣壓將閥頭抬起，使閥開啟。

膜片將介質與大氣隔開。

其優點是密封性好，可靠，死區小，其死區體積不到相同口徑波紋管閥的一半。易於排除痕量殘留氣體；閥頭與閥座間無相對摩擦，不會有金屬粒子落入介質中。

可以同時滿足高壓、真空、高低溫的綜合性能。

膜片式截止閥工作壓力可達21MPa，適用溫度-54～316℃，漏氣速率1.33×10-7Pa·L/s。

可供高純氣體系統用。