電子能量損失譜

電子能量損失譜原理為低能電子束接近表面時會與晶體表面振動模發生相互作用，被反射回來的電子得到固體表面結構的信息一束能量為Ep的電子在與樣品碰撞當中將部分能量傳遞給樣品原子或分子，使之激發到費密(Fermi)能級以上的空軌道Ef，而自身損失了El能量的電子以Ep’的動能進入檢測器而被記錄下來。依能量守恆原理：El = Ep - Ep’。