叉指換能器
構成聲表面波器件的基本單元
叉指換能器(IDT),就是在壓電基片表面上形成形狀像兩隻手的手指交叉狀的金屬圖案,它的作用是實現聲一電換能。叉指換能器是構成聲表面波器件最基本的單元,只有對IDT進行準確分析才能預計聲表面波器件的響應,進而實施器件晶元版圖的性能容差可靠性設計及其性能優化設計。
所謂叉指換能器,就是在壓電基片表面上形成形狀像兩隻手的手指交叉狀的金屬圖案,它的作用是實現聲一電換能。
叉指換能器的典型結構
技術特點第一,聲表面波具有極低的傳播速度和極短的波長,它們各自比相應的電磁波的傳播速度的波長小十萬倍。在VHF和UHF繩段內,電磁波器件的尺寸是與波長相比擬的。同理,作為電磁器件的聲學模擬聲表面波器件,它的尺寸也是和信號的聲波波長相比擬的。因此,在同一頻段上,聲表面波器件的尺寸比相應電磁波器件的尺寸減小了很多,重量也隨之大為減輕。例如,用一公里長的微波傳愉線所能得到的延遲,只需用傳輸路徑為1 。m的聲表面波延遲線即可完成。這表聲表面波技術能實現電子器件的超小型化。第二,由於聲表面波系沿固體表面傳播,加上傳播速度極慢,這使得時變信號在給定瞬時可以完全呈現在晶體基片表面上。於是當信號在器件的輸入和輸出端之間行進時,就容易對信號進行取樣和變換。這就給聲表面波器件以極大的靈活性,使它能以非常簡單的方式去。完成其它技術難以完成或完成起來過於繁重的各種功能。比如脈衝信號的壓縮和展寬,編碼和解碼以及信號的相關和卷積。一個實際例子是1976 年報道的一個長為一英寸的聲表面波卷積器,它具有使兩個任意模擬信號進行卷積的功能,而它所適應的帶寬可達100MHz ,時帶寬積可達一萬。這樣一個卷積器可以代替由幾個快速傅里葉變換(FFT )鏈作成的數字卷積器,即實際上可以代替一台專用卷積計算機。此外,在很多情況下,聲表面波器件的性能還遠遠超過了最好的電磁波器件所能達到的水平。比如,用聲表面波可以作成時間-帶寬乘積大於五千的脈衝壓縮濾波器,在UHF頻段內可以作成Q 值超過五萬的諧振腔,以及可以作成帶外抑制達70dB 、頻率達1 低Hz 的帶通濾波器。第三,由於聲表面波器件是在單晶材料上用半導體平面工藝製作的,所以它具有很好的一致性和重複性,易於大量生產,而且當使用某些單晶材料或複合材料時,聲表面波器件具有極高的溫度穩定性。第四,聲表面波器件的抗輻射能力強,動態範圍很大,可達100dB 。這是因為它利用的是晶體表面的彈性波而不涉及電子的遷移過程。