陝西省微型機械電子系統研究中心
陝西省微型機械電子系統研究中心
陝西省微型機械電子系統（MEMS）研究中心 成立於2001年3月，掛牌於西安交通大學精密工程研究所，蔣庄德教授任中心主任，趙玉龍任副主任。目前，陝西省有西安交通大學、航空618所、航天16所、驪山微電子研究所（771所）、寶雞感測器研究所、西北工業大學等多家單位在不同的應用領域開展了MEMS的研究。為了推動陝西省的MEMS研究，陝西省MEMS研究中心作為組織協調機構，主要目的是發揮各單位的技術優勢，取長補短，防止低水平重複研究；建立以大專院校及科研院所為龍頭，以IC企業為骨幹，研學產緊密結合的若干個國家級MEMS發展基地；使陝西省MEMS研究基礎或西部地區的MEMS研究提高到較高的水平，為進一步爭取國家級的MEMS研發中心打下堅實的基礎，創造良好的條件
目前，該中心擁有MEMS潔凈室、各種MEMS加工設備（包括LPCVD、ICP、PECV、MCP等設備）、MEMS軟體平台CoventorWare。現主要從事MEMS設計與工藝、各種MEMS器件、MEMS感測器和相關係統的設計和製作。已申請專利13項，其中發明專利6項，兩項發明、八項實用新型已授權。完成科技論文五十餘篇。
陝西省MEMS中心自成立以來，承擔了以下項目中的課題任務：
“耐高溫微型壓力感測器實用化開發”，863重大專項（2002AA404470）；
“耐高溫壓力感測器技術研究”，863預啟動項目（課題編號：101-01）；
“棉條檢測FP感測器”，中國航空工業總公司第613研究所；
“集成微光機電系統研究課題－微機械材料力學特性相關問題研究”，973項目；
“針對高深寬比硅微結構等離子體低溫刻蝕技術研究”，國家自然科學基金項目（50205020）；
“具有高寬比微傳動機械零件的研製”，機械傳動國家重點實驗室基金項目；
“光碟表面微觀形貌在線檢測技術的研究”，教育部博士點基金；
“應用原子力顯微鏡進行納米結構樣板的製造研究”，教育部高等學校骨幹教師資助計劃；
“微觀表面形貌測量技術”，教育部重點科技項目；
“基於計算機視覺反饋的微操作研究”，西安交通大學博士論文基金；
“MEMS技術與應用”，陝西省科技攻關重點項目；
“微型火工引爆系統MEMS安全與解除保險裝置研製”，中國兵器工業第213研究所；
“組織微陣列製備儀的開發製作”，陝西西大北美基因股份有限公司。