力敏感測器是將應力、壓力等力學量轉換成電信號的轉換器件。力敏感測器有電阻式、電容式、電感式、壓電式和電流式等多種形式,它們各有優缺點。半導體壓力感測器的主要技術性能:輸出3~20mV/V; 精度0.25%; 頻率0~ 5000Hz; 工作溫度-55~120攝氏度。這種感測器的優點是體積小、成本低,缺點是對濕度十分敏感。壓電式力敏感測器的優點是靈敏度高,工作溫度範圍寬(-70~250攝氏度),缺點是成本稍高。近年來,壓電式力敏感測器的應用領域和市場銷售額明顯擴大。
力敏感測器是用來檢測氣體、固體、液體等物質間相互作用力的感測器。常用材料有半導體、金屬及合成材料。常用的主要是硅壓阻式力敏感測器和電容式力敏感測器。硅壓力感測器優點是,靈敏度好、精度高、缺點是受溫度影響大,