微射流

微射流的形成主要有兩種形式，一種是由僅在一個側面上開有微小孔的封閉腔體形成射流作動器，工作時開孔相對的側面產生振動，外界流體便會經由開孔不斷進入、排出腔體，形成微射流；另一種為直接將振動膜片放入環境流體之中，膜片振動時只要其振幅足夠大，也會沿膜片法線方向形成射流。兩種形式中，振動的產生又可分為電磁機械式、靜電式和壓電式。