三極型濺射

熱陰極直流濺射（三極型濺射）hotcathodedirectcurrentsputtering：藉助於熱陰極和陽極獲得非自持氣體放電，氣體放電所產生的離子，由在陽極和陰極（靶）之間所施加的電壓加速而轟擊靶的濺射。