牽引分子泵

工作原理

牽引分子泵的泵腔內有可旋轉的轉子，轉子的四周帶有溝槽並用擋板隔開。每一個溝槽就相當於一個單級分子泵，后一級的入口與前一級的出口相連。轉子與泵殼之間有0.01mm的間隙。氣體分子由入口進入泵腔，被轉子攜帶到出口側，經排氣管道由前級泵抽走。牽引分子泵的優點是起動時間短，在分子流態下有很高的壓縮比，能抽出各種氣體和蒸汽，特別適於抽除較重的氣體。

缺點

抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障等，因此除特殊需要外，實際上很少應用。曾一度被結構和製造簡單，抽速大地擴散泵所代替。

牽引分子泵(2張)