是20世紀80年代發展起來的無機元素和同位素分析測試技術，它以獨特的介面技術將電感耦合等離子體的高溫電離特性與質譜計的靈敏快速掃描的優點相結合而形成一種高靈敏度的分析技術。
學科：岩礦分析與鑒定
詞目：電感耦合等離子體質譜
英文：inductively coupled
plasma massspectrometry(ICP-MS)
釋文：ICP-MS儀器所使用的等離子體除了方位和線圈接地方式外，與
發射光譜中使用的基本相同。所使用的質量分析器、離子檢測器和數據採集系統又與四極桿GC-MS儀器相類似。質量分析器多採用四極桿質譜計，也有採用具有高分辨的雙聚焦扇形磁場質譜計、飛行時間質譜計等。該技術的特點：靈敏度高；速度快，可在幾分鐘內完成幾十個元素的定量測定；譜線簡單，干擾相對於光譜技術要少；線性範圍可達7～9個數量級；樣品的製備和引入相對於其他
質譜技術簡單；既可用於元素分析，還可進行同位素組成的快速測定；測定精密度(RSD)可到0.1%。