SOG

SOG（Silicon On Glass），即硅-玻璃鍵合結構。指通過機械或化學方法將硅（單晶、多晶、多孔）與玻璃進行粘合后形成的層合材料。通常可以採用的粘合方法有：陽極鍵合法，黏著劑中間夾層法，硅（或玻璃）表面鍍膜粘結法（如碳化硅膜）