射頻電源

射頻電源是等離子體配套電源，它是由射頻功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率計組成，是八十年末期在我國新興的高科技領域，應用於射頻濺射,PECVD 化學氣相沉積，反應離子刻蝕等設備中.

等離子體

【等離子體】是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質，它是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。等離子體是一種很好的導電體，利用經過巧妙設計的磁場可以捕捉、移動和加速等離子體。等離子體物理的發展為材料、能源、信息、環境空間，空間物理，地球物理等科學的進一步發展提新的技術和工藝。

看似“神秘”的等離子體，其實是宇宙中一種常見的物質，在太陽、恆星、閃電中都存在等離子體，它佔了整個宇宙的99%。現在人們已經掌握利用電場和磁場產生來控制等離子體。例如焊工們用高溫等離子體焊接金屬。

等離子體可分為兩種：高溫和低溫等離子體。以上提到的是高溫等離子體。現在低溫等離子體廣泛運用於多種生產領域。例如：等離子電視，嬰兒尿布表面防水塗層，增加啤酒瓶阻隔性。更重要的是在電腦晶元中的蝕刻運用，讓網路時代成為現實。

高溫等離子體只有在溫度足夠高時發生的。太陽和恆星不斷地發出這種等離子體，組成了宇宙的99%。低溫等離子體是在常溫下發生的等離子體（雖然電子的溫度很高）。低溫等離子體體可以被用於氧化、變性等表面處理或者在有機物和無機物上進行沉澱塗層處理。