唐禎安
計算力學博士
唐禎安,1955年生於大連。1982年2月畢業於西安電子科技大學技術物理系半導體物理與器件專業。畢業后先後在電子部14院47所和機械部大連儀錶元件廠從事大規模集成電路和半導體感測器研究。1988年進入大連理工大學深造,先後獲得通訊與電子系統碩士學位和計算力學博士學位。
唐禎安,大連理工大學感測技術研究所所長(現更名為微電子所),中國儀器儀錶學會儀錶元件分會副理事長,中國儀器儀錶學會感測器分會副理事長,中國儀器儀錶學會微納器件與系統技術分會理事,科技部國際科技合作計劃項目評價專家,大連市信息化專家諮詢委員會委員,《感測技術學報》、《感測器與微系統》、《儀錶技術與感測器》、黑龍江大學學報(自然科學)》編委。
1994年2月-1996年7月,在香港科技大學電機與電子學系做RA。
1997年8月-1998年11月,在香港科技大學電機與電子學系做訪問學者 2000年3月-2001年2月,在香港科技大學電機與電子學系做訪問學者
2004年5月-2005年3月,在東京大學生產技術研究所做訪問教授
2005年12月,在法國斯特拉斯堡大學合作研究
1. 集成電路設計及製造
2. 半導體感測器及其應用
3. 微器件中的微尺度輸運理論
1. 國家自然科學基金重點項目“硅微傳聲器和微氣壓感測器及其陣列集成晶元系統研究”中“微氣壓感測器陣列集成晶元系統研究”。
2. 863重點項目“面向安全檢測與跟蹤網路化微系統”
3. 日本大金公司-清華大學研發中心項目“甲醛感測器研究”及“氣味檢測裝置研究”
4.教育部春暉計劃項目“超大規模集成電路測試技術研究”
微電子學與固體電子學
電路與系統
物理電子學
集成電路設計、製造及其應用技術;
半導體感測器開發及應用;
微器件中的微尺度理論和技術;
近年來在國內外刊物和會議上發表論文100餘篇。近五年的主要論文有:
[1]Evaluation of momentum conservation influence in non-equilibrium
molecular dynamics methods to compute thermal conductivity,
Physica B, 373: 291-296,Elsevier, 2006.
[2]A micro-Pirani vacuum gauge based on micro-hotplate technology,
Sensors and Actuators A, 126:200-205, Elsevier, 2006.
[3]A Genetic Algorithm for Simultaneous Determination of Thin Films
Thermal Transport Properties and Contact Resistance, Journal of
Materials Science & Technology, 2005.
[4]微熱板式低氣壓感測器的研製,半導體學報,第26卷第7期,2005年,
81-6。
[5]Size effect on heat transfer in micro gas sensors, Sensors and
Actuators, A: Physical,120(2): 397-402, Elsevier, 2005.
[6]基於硅微加工工藝的微熱板傳熱分析,半導體學報,第26卷第1期,2004
年,192-6。
[7]In-plane thermal diffusivity measurement of thin films based on
the alternating-current calorimetric method using an optical
reflectivity technique, Chinese Physical Letters, Vol.21, No.4,
713-5, April 2004.
[8]An experimental study on high-temperature metallisation for micro-
hotplate-based integrated gas sensors, Sensors and Actuators B86,
1-11, Elsevier, 2002.
[9]Thermal measurement and analysis of micro-hotplate using
thermogrphy, Sensors and Actuators A:100, 144-152, Elsevier, 2002.
[10]An integrated gas sensor technology using surface micro-machining,
Sensors and Actuators B82, 277-283, Elsevier, 2002.
遼寧省教委科技進步獎三等獎兩項
大連市政府技術開發一等獎一項
遼寧省政府科學技術獎三等獎一項
黑龍江省科學技術獎二等獎(進步類)