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陳蓉
華中科技大學教授
陳蓉,1978年8月出生,博士、教授,博士生導師,中國科學技術大學學士學位、美國斯坦福(Stanford)大學碩士、博士學位。曾在美國應用材料公司和美國英特爾研究院從事電子器件製備工藝及相關工藝設備的研究開發。中組部首批“青年”入選者,教育部“新世紀人才支持計劃”獲得者。
中國硅酸鹽學會薄膜與塗層分會理事、中國機械工程學會會員。美國電氣電子工程學會(IEEE)、材料研究學會(MRS)、電化學學會(ECS)、美國物理學會(APS)、美國化學學會(ACS)會員。曾擔任美國勞倫斯-伯克利國家實驗室開放基金特邀專家評審組成員,英特爾風險投資部門納米材料及新能源技術顧問及學術基金部門顧問。長期擔任 Applied Physics Letters, Journal of Applied Physics等國際權威期刊的特邀審稿人。
微納製造、納米材料生長工藝及設備開發,薄膜製備工藝及應用。
將實驗和理論相結合,研究納米薄膜生長工藝及設備開發,用來解決未來電子和能源工業所即刻面臨的挑戰。研究的重點在於控制納米材料的生長、結構、及其性能,用於製造和表徵具有精確的物質組成、以及原子尺度上可控的納米結構,將其整合成納米器件,並開發相關高精度生長設備。
圍繞原子層沉積、納米顆粒、薄膜等微結構的工藝過程開發與優化,承擔了多項微電子與新能源相關項目的研究,是選擇性原子層沉積技術的先驅者之一。在Advanced Materials等國際知名期刊上發表論文20餘篇(累計影響因子近七十),在相關國際學術會議作報告30餘次,主編撰寫“十二 五”重點出版物一部,微納製造領域5項專利申請。
科研項目
1. 國家自然科學基金“利用原子層沉積法實現可控組份、大小的納米催化顆粒生長”在研;
2. 英特爾研究院(美國)“納米儲能器件研究”在研;
3. 英特爾公司(美國)-Nanochip聯合團隊“以微機電系統為基礎的超大密度非易失性數據存儲器中的納米探針頭和鐵電納米薄膜的開發”已結題;
4. 斯坦福大學全球氣候與能源(GCEP)“無機混合太陽能材料的原子薄膜沉積技術”已結題;
5. 本田公司(日本)“運用原子薄膜沉積技術製造固態氧氣燃料電池的催化層”已結題;
6. 美國國家自然科學基金和半導體研究協會(NSF-SRC)“具有區域選擇性的原子薄膜沉積技術在高介電常數場效應管中的應用”已結題。
半導體研究協會(SRC) Simon Karecki獎。