諧振式感測器

利用諧振元件把被測參量轉換為頻率信號的感測器，又稱頻率式感測器。當被測參量發生變化時，振動元件的固有振動頻率隨之改變，通過相應的測量電路，就可得到與被測參量成一定關係的電信號。70年代以來諧振式感測器在電子技術、測試技術、計算技術和半導體集成電路技術的基礎上迅速發展起來。其優點是體積小、重量輕、結構緊湊、解析度高、精度高以及便於數據傳輸、處理和存儲等。按諧振元件的不同，諧振式感測器可分為振弦式、振筒式、振梁式、振膜式和壓電諧振式等(見振弦式感測器、振筒式感測器、振梁式感測器、振膜式感測器、石英晶體諧振式感測器)。諧振式感測器主要用於測量壓力，也用於測量轉矩、密度、加速度和溫度等。