表面電阻率是平行於通過材料表面上電流方向的電位梯度與表面單位寬度上的電流之比，用歐姆表示。
surface resistivity
註：如果電流是穩定的，表面電阻率在數值上即等於正方形材料兩邊的兩個電極間的表面電阻，且與該正方形大小無關。
是指表示物體表面形成的使電荷移動或電流流動難易程度的物理量。在固體材料平面上放兩個長為L、距離為d的平行電極，則兩電極間的材料表面電阻與d成正比，與L成反比，可用下式表達：式中的比例係數稱作表面電阻率，它與材料的表面性質有關，並隨周圍氣體介質的溫度、相對濕度等因素有很大變化，單位用（歐）表示。