沈天慧

沈天慧，半導體化學分析專家，化學家。1928年生於浙江嘉善魏塘鎮，女。1923年4月出生。因病於2011年1月2日凌晨2時55分在上海逝世，享年88歲。

1949年畢業於上海大同大學化工系。上海交通大學教授。參加了包頭稀土鐵礦以及鉬礦的分析工作。開展了用三氯氫硅法製備超純硅的研究工作。

1957年—1959年留學蘇聯，進修半導體材料。上海交通大學信息存儲研究中心研究員、上海交通大學學術委員會委員、上海交通大學材料與化工研究院顧問、微納米科學技術研究院研究員、微納米加工技術重點實驗室學術委員會主任，曾在中國科學院長春應用化學研究所從事用三氯氫硅法制純硅的研究工作。

1966－1986年在陝西臨潼縣航天工業部771研究所，從事半導體材料及航天用大規模集成電路的研製。1978年成功地用等平面N溝硅柵 MOS&127;工藝，研製出大規模集成電路數種，當時在國內處於領先地位。

1987年後，從事磁頭磁碟及電磁型微馬達的研製工作，制出具有國際水平的直徑為2mm的微馬達。現從事微機電系統研究。

1980年當選為中國科學院院士（學部委員）。

沈天慧1928年生於浙江嘉善魏塘鎮，祖籍浙江杭州。童年在嘉善寺弄小學、文廟高級小學及縣立初中讀書。1949年上海大同大學化工系畢業，同年考入中央研究院上海化學研究所工作。畢業后，在中國科學院從事分析化學工作。 1957--1959年留學蘇聯，進修半導體材料，為期兩年。回中國后，在中國科學院長春應用化學研究所工作。 1966--1986年在陝西省臨潼縣航天工業部七七一研究所兼第七研究室主任。 1987年到2009年1月，任上海交通大學教授、學術委員會委員。 1980年當選為中國科學院院士（學部委員）。1949年解放后，進入中央研究院（中國科學院前身）。在我國著名的分析化學家梁樹權教授的指導下，從事分析化學的研究工作，並對鐵礦的分析作出顯著成績。1959-1966年在長春應化所工作。 1957年，去蘇聯科學院冶金研究所學習硅的提純技術，在兩年的學習階段，學會了整套的製備純硅技術。回國后，她和中國科學院半導體研究所的科研人員一起，用元坩鍋區熔法拉出了單晶硅，為祖國的半導體科學技術作出重大的貢獻。1980年當選為中國科學院院士（學部委員）。1974年起，沈天慧致力於大規模集成電路的研究。現在她在上海交通大學121研究所從事超大規模集成電路的研製工作，曾獲國家級獎勵三項，部委級獎勵四項。她是全國17名女院士之一。到2009年1月為止，仍然從事微機電、系統研究。

沈天慧1987年調入上海交通大學信息中心，現為上海交通大學術委員會委員、中國科學院上海冶金所信息材料國家重點實驗室學術委員會主任。70年代研製出大規模集成電路，獲中國國家級獎勵三項、部委級獎勵四項，曾任航天部科技委員會委員、宇航學會第一屆理事。在科學的道路上，有時，特別是婦女工作者，可能會遇到不應有的壓抑和歧視，但只要有信心，有腳踏實地的忘我工作精神，保守的枷鎖和禁錮是打得破的。研究領域：半導體化學、半導體材料及器件，目前從事的研究方向為微器件、微機電系統、微加工工藝，尤其是硅材料的體、表面微加工工藝研究，以及其它薄膜材料及其器件。

沈天慧在調到上海之前，沈天慧在艱苦的東北、西北工作了35年，把最美好的青春獻給了新中國剛剛起步的宇航事業。特別是在陝西臨潼呆的那17年，回憶起來，那真是一段驕傲和艱辛並存的創業史。

1969年，由於當時中國國內形勢的需要，汪師俊、沈天慧夫婦所在的研究所從北京遷址三線臨潼。大孩子在當地的村小讀書，教室里的門窗到處是一個個的窟窿，冬天冷得不行。小一點的孩子沒有幼兒園可上，只得關在家裡，一生病，兩人就輪流利用半天10分鐘的休息時間回家照看一下。沈天慧對半導體材料及硅集成電路的研究就在這樣艱苦的環境下慢慢起步了。由於研製集成電路對於工作環境有相當高的要求，需要空氣乾燥、氣候恆定，因此，她日復一日、年復一年在一個類似“套子”一樣的房子里工作，以至於後來得了嚴重的類風濕關節炎，手發抖並嚴重變形，腿發顫，行走不便。

沈天慧與居里夫人一樣，沈天慧的求學之路也充滿艱辛。1937年“八·一三”事變后，一把大火把老家浙江嘉善的房子燒得精光。靠獎學金和做家教，她在上海讀完了初中和高中，畢業后，因家境困難，沈天慧在上海藥廠做了三年工，然後繼續在大同大學化工系半工半讀，堅持到大學畢業。

沈天慧的愛人汪師俊是她的大學同學，據他介紹，當時沈天慧既在學校兼文書職務，又當家庭教師，而她的成績在班裡仍屬佼佼者，她的秘密就在於利用每一分可利用的時間。

沈天慧的研究為中國研製成功大規模集成電路打下了基礎。16位制的中國國產微機誕生也和她的研究息息相關。1980年，她光榮地當選為中國科學院學部委員，成為中國寥寥科學女星中的一顆。1987年，她作為上海最需要的人才之一被引進到上海交通大學工作，開始了新的研究領域。

沈天慧教授主要致力於分析化學、半導體化學方面的研究工作，曾參加過硫酸根的測定、包頭含稀土鐵礦的全分析、鉬礦的全分析、地下水的全分析等項科學研究。70年代初開始從事大規模集成電路的研究工作。曾採用三氯氫硅法製備超純硅，進行了磁疊片存儲器、玻璃半導體記憶材料等研究，取得了成果。參與了等平面N溝硅柵工藝製備MOS大規模集成電路的研究，特別是薄氧化層的研究，為超大規模集成電路的製備作出了貢獻。沈天慧從蘇聯回中國后開展用三氯氫硅法制純硅的研究工作。 1966--1986年從事半導體材料及大規模集成電路的研製。 1978年成功地用等平面N溝硅柵MOS工藝研製出大規模集成電路數種，當時在中國國內處於領先地位。從事超大規模集成電路工藝——光化學氣相澱積氮化硅的研究及其在集成電路上的應用，化學鍍鎳磷——磁表面保護故鐵硼的研究，繼續作出貢獻。1987年到2009年1月注重磁頭磁碟的研製工作。沈天慧從事的磁頭磁碟及電磁型微馬達的研製工作，能制出具有國際水平的直徑為2mm的微馬達。

1、《包頭白雲鄂博稀土鐵礦全分析方法的研究》(與梁樹權合作)，1954年在中國稀土鐵礦會議上學術交流。

2、《三氯氫硅法製取半導體超純硅的研究》，1963年在全國半導體材料會議上學術交流。

3、《化學在集成電路中的作用》，載《化學通報》1984年第10期。

4、《化學氣相澱積技術》(專題技術講座連載1—22)，載《半導體雜誌》1985年第6期至1992年第4期。

5、《超大規模集成電路工藝概況》，載《微電子學與計算機》1986年第3期。

6、《超大規模集成電路工藝：薄層硅外延》，載《微電子學與計算機》1987年第4期。

7、《超大規模集成電路工藝：超微細加工》，載《微電子學與計算機》1988年第5期。

8、《超大規模集成電路工藝：4氏溫工藝》，載《微電子學與計算機》1989年第4期。

9、《超大規模集成電路工藝：金屬化工藝》，載《微電子學與計算機》1991年第川期。

10、《光化學在超大規模集成電路中的應用》，載《真空應用》1986年第3期。

11、《硬磁碟化學鍍非晶體Ni—P襯底的研究》，載《薄膜科學與技術》1992年第2期。

12、《Nd—Fe—B永磁體化學鍍抗腐蝕保護層的研究》，載1992年《中國第三屆固體薄膜學術會議論文集》。

13、《光化學氣相澱積氮化硅的工藝研究》，載《微電子學與計算機》1993年第2期。

14、《光化學氣相澱積氮化硅薄膜應用於提高器件的可靠性》，載《微電子學與計算機》1993年第9期。

15、《用多晶硅吸雜和Si02背封工藝提高矽片質量》，載《微電子學與計算機》1997年第2期。