單片集成電路

單片集成電路

單片集成電路是獨立實現單元電路功能,不需外接元器件的集成電路。要實現單片集成,需要解決一些不易微小型化的電阻、電容元件和功率器件的集成,以及各元件在電路性能上互相隔離的問題。

概述


名稱: 單片集成電路(monolithic integration)

關鍵詞


主題詞或關鍵詞: 信息科學 砷化鎵 集成電路

工藝


電片集成
電片集成
單片集成電路從小、中規模發展到大規模、超大規模集成電路,使平面工藝得到相應的發展。如摻雜技術由擴散改為離子注入,常規紫外光刻發展到電子束曝光、等離子體刻蝕和反應離子銑,常規氣相外延改為超高真空分子束外延,採用化學氣相沉積製造二氧化硅和多晶硅膜等。單片集成電路除向更高集成度發展外,也正向著線性、大功率、高頻電路和模擬電路方向發展。