單片集成電路

名稱: 單片集成電路（monolithic integration）

主題詞或關鍵詞: 信息科學 砷化鎵 集成電路

單片集成電路從小、中規模發展到大規模、超大規模集成電路，使平面工藝得到相應的發展。如摻雜技術由擴散改為離子注入，常規紫外光刻發展到電子束曝光、等離子體刻蝕和反應離子銑，常規氣相外延改為超高真空分子束外延，採用化學氣相沉積製造二氧化硅和多晶硅膜等。單片集成電路除向更高集成度發展外，也正向著線性、大功率、高頻電路和模擬電路方向發展。