WBC

晶圓背面塗膠技術

全拼:WAFER BACKSIDE COATING

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正文


晶圓背面塗覆工藝中採用晶元粘結劑作為漿料,將其塗覆到晶圓背面之後再烘乾。其優點是同干膜方法相比成本降低20-30%,可以控制鍵合層厚度並且得到更高的單位時間產量。